半導(dǎo)體設(shè)備真空腔高精度測(cè)溫系統(tǒng)

更新時(shí)間：2024-05-26

簡(jiǎn)要描述：

半導(dǎo)體設(shè)備真空腔高精度測(cè)溫系統(tǒng)Vac.TEMP TS
1、精密測(cè)溫NTC傳感器；
2、真空貫通法蘭；
3、精密多通道測(cè)溫儀；
4、溫度采集分析軟件DAQ TEMP。

型號(hào)：Vac.TEMP TS點(diǎn)擊量：975

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半導(dǎo)體設(shè)備真空腔高精度測(cè)溫系統(tǒng)Vac.TEMP TS

1、精密測(cè)溫NTC傳感器；

2、真空貫通法蘭；

3、精密多通道測(cè)溫儀；

4、溫度采集分析軟件DAQ TEMP。

半導(dǎo)體設(shè)備真空腔高精度測(cè)溫系統(tǒng)精密NTC測(cè)溫傳感器技術(shù)規(guī)范

溫度采集儀618A/NTC技術(shù)規(guī)范

名稱	指標(biāo)
溫度校準(zhǔn)范圍	16-70℃
測(cè)量模塊絕對(duì)精度	≤10、5、1mK@1Hz/通道
測(cè)量模塊年漂移	≤10、5、1mK
測(cè)量通道數(shù)量	4、8、16、32、120個(gè)可選
采樣頻率	可調(diào)，最大≥10Hz/通道
激勵(lì)電流	≤10uA
運(yùn)行/故障指示燈	是
單通道獨(dú)立控制	是
輸入	4線制NTC
通訊接口	LAN/RS485/USB
通訊協(xié)議	Modbus RTU
數(shù)據(jù)格式	機(jī)器時(shí)間-對(duì)應(yīng)通道的溫度值
設(shè)備記錄時(shí)間功能	有內(nèi)部時(shí)鐘，采集頻率＜1Hz時(shí)，時(shí)間差≤0.1s
測(cè)溫探頭接口	航空插頭
軟件	配套DAQ數(shù)據(jù)采集軟件
供電電源	AC220V適配器